تأثير الأكسدة الحرارية على الخصائص البنيوية والضوئية لأغشية رقيقة من الألمنيوم مُحضَّرة بطريقة الترذيذ الماغنتروني

الملخص

جرى في هذا البحث تحضير أغشية رقيقة من الألمنيوم بطريقة الترذيذ الماغنتروني بالتيار المستمر (DC-Magnetron Sputtering) من هدف مصنوع من الألمنيوم بنقاوة (99.99%) متبوعة بأكسدة حرارية في الهواء عند درجات حرارة مختلفة. وتمَّ بعد ذلك توصيف العينات المُحضَّرة, ودراسة تأثير درجة حرارة الأكسدة على خصائصها الضوئية والبنيوية. حيث لوحظ تناقص معدل عملية الأكسدة في العينة المُحضَّرة عند درجة الحرارة  500°C وذلك بالمقارنة مع درجات الحرارة الأقلّ انخفاضاً. أمّا في حالة درجات الحرارة المنخفضة فقد لوحظ ازدياد معدل عملية الأكسدة مع ازدياد درجة الحرارة وكانت ثخانات طبقة الأكسيد المتشكلة غير منتظمة. كما بينت هذه الدراسة, الحصول على بنى رباعية وثمانية السطوح من أكسيد الألمنيوم وتشكل هدروكسيد الألمنيوم. بالإضافة لما سبق، فقد لوحظ تناقص خشونة السطح مع ارتفاع درجة الحرارة حيث تناقصت بحوالي 84% عند الأكسدة لدرجة حرارة 500° C. وتضمنت الدراسة أيضاً تقصي تأثير الخصائص البنيوية والطبوغرافية المدروسة على طيف الانعكاسية للأغشية المُحضَّرة.